어플라이드 머티리얼즈 코리아, 구리배선공정위한 ESS선보여

어플라이드 머티리얼즈 코리아(대표 이영일)이 차세대 고성능 반도체를 만드는데 필수불가결한 기술로 등장하고 있는 구리배선공정을 위한 토탈솔루션(ESS)을 국내에서 처음으로 선보였다. 구리를 반도체 재료로서 이용하는 것은 반도체제조공정의 근본적인 변화를 몰고 온다. 어플라이드 머티리얼즈사가 개발한 구리배선 ESS는 구리를 이용한 반도체소자가 시장에 출시될 수 있는 시간을 획기적으로 앞당겨 줄 수 있는 장비라고 이영일 사장은 설명했다. 이 장비는 다층 구리 배선을 완벽하게 제조할 수 있는 업계 최초의 집적공정모듈로 업체별 소자 특성을 살린 최적의 구리공정전체를 구성할 수 있도록 지원해 줄 수 있는 것이 장점이다. 이 회사는 특히 이번 장비개발과 관련,장비공정집적센터(EPIC)를 설치했다. 이 센터에서는 3백여개에 달하는 검증 및 사전 인증절차를 수행해줘 라인인증시간을 대폭 줄여 준다. 이같은 기술과 시설덕분에 시험웨이퍼를 사용하여 공정을 인준하는데 걸리는 시간이 20일이내로 가능하게 됐다. 이에따라 공정 검증에서부터 공정가동,제품양산개시까지 걸리는 시간을 9개월 이상 단축시킬수 있다고 이 회사관계자는 말했다. 어플라이드 머티리얼즈사 코리아는 이 장비를 22일부터 24일까지 COEX에서 열리는 세미콘 코리아에서 전시한다. 노웅 기자 woongroh@ ( 한 국 경 제 신 문 1999년 2월 23일자 ).