초고속 전자 소자등 제작 가능...한국전자통신연구소
입력
수정
한국전자통신연구소가 자체기술로 초고진공 화학기상증착(UHV-CVD)장치를설계제작,이장치를 이용해 갈륨비소 화합물 반도체 에피탁시(Epitaxy)를한개의 원자층씩 계속 쌓을수 있는 성장법을 찾아냈다. 27일 이연구소 박성주박사팀은 이에따라 국내 반도체기술의 향상은 물론많은 정보를 빠르게 전송하는 차세대 정보통신시스템개발에 사용될 초고속전자및 광학 양자소자의 제작이 가능해졌다고 밝혔다. 그는 갈륨비소 화합물 반도체 에피탁시는 정보및 통신시스템을 구성하는중요부품인 초고속 전자및 광학 양자소자의 제작에 필수적으로 사용되는전자재료로 원자층 수준에서의 박막성장장치의 개발이 요구되어왔다고말했다.