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“디스플레이에서 쌓은 유리세정 기술을 반도체로 확장하려는 겁니다. 한국과 대만 반도체 대기업의 샘플테스트를 통과했고 연내 수주 계약도 맺을 계획입니다.”

지난 8월 말 DMS의 각자 대표로 합류한 정수화 대표는 19일 경기도 용인 본사에서 한 인터뷰에서 “반도체 유리기판은 아직 절대 강자가 없는 새로운 시장”이라며 이같이 말했다. 디스플레이 세정장비 강자인 DMS가 반도체용 유리기판 세정장비 시장에 도전장을 낸 것이다.

첫 공략 대상은 첨단 반도체 패키징에 쓰이는 유리기판이다. 유리에 미세한 구멍을 뚫는 ‘유리관통전극(TGV)’ 공정 전후로 이물질을 제거하는 장비를 개발했다. 3년 이상 준비한 끝에 곧 한국, 대만 대기업과 계약을 앞두고 있다. 정 대표는 “이르면 연내 첫 장비 수주가 가능할 것”이라고 말했다.
[단독] DMS "반도체 유리기판 장비 시장 진출"
DMS가 내세우는 무기는 오랫동안 유리를 다뤄온 경험이다. 디스플레이 제조 과정에서는 넓고 얇은 유리를 깨뜨리거나 휘게 하지 않으면서 표면 전체를 균일하게 세정하고 건조해야 한다. 작은 이물질과 물자국도 남지 않도록 관리하는 기술이 핵심이다. 정 대표는 “웨이퍼를 주로 다뤄온 반도체 장비업체와 달리 우리는 유리의 특성과 취급 방법을 잘 안다”며 “디스플레이에서 축적한 공정 기술을 반도체 유리기판에 적용할 수 있다”고 설명했다.

넘어야 할 기술적 문턱도 높았다. 디스플레이 세정이 주로 평평한 표면의 이물질을 제거하는 작업이라면 TGV 공정에서는 좁고 깊은 구멍 안의 잔여물까지 빼내야 한다. 얇은 유리를 손상시키지 않으면서 내부까지 깨끗하게 씻어내는 것이 관건이다. DMS는 화학약품과 온도, 물리적인 세정 방식 등을 조합해 최적의 조건을 찾아냈다고 설명했다. 정 대표는 “오랜 시행착오 끝에 확보한 우리만의 해결책이 있기 때문에 경쟁사가 쉽게 따라오기 어려울 것”이라고 강조했다.

1999년 설립된 DMS는 2001년 고집적 세정장비(HDC)를 국내 최초로 개발했다. 장비 크기를 줄이면서 세정 성능을 높여 경쟁력을 확보했다. 현재 관련 특허는 약 300건. 설계부터 부품 가공, 조립까지 주요 생산 과정을 내재화한 것도 강점이다. 장비의 뼈대인 프레임까지 직접 제작한다.

정 대표는 1992년 LG전자에 입사한 뒤 30여 년 동안 장비 분야에서 경험을 쌓은 전문가다. LG전자 생산기술원 장비기술센터장(부사장)을 지내는 등 DMS가 필요로 하는 반도체 장비 개발과 양산을 위해 영입했다. DMS는 향후 인쇄회로기판(PCB)과 웨이퍼 기반 반도체 전공정용 습식 장비로 영역을 넓힐 계획이다. 정 대표는 “디스플레이 장비가 안정적인 수익원 역할을 하도록 경쟁력을 높이면서 반도체 사업을 키우겠다”며 “새롭게 태동하는 유리기판 시장에서 우리가 표준을 세우는 1등 기업이 되는 게 목표”라고 말했다.

용인=민지혜 기자 spop@hankyung.com