주성엔지니어링(대표 황철주)은 한국 반도체장비 생산업체중 세계적인
경쟁력을 가진 첨단 창조기업이다.

지난 93년 5월에 설립된 이 회사는 창립 3년만인 96년 수출 1백만달러를
포함, 83억원의 매출을 올렸다.

경기도 광주군 신공장으로 이전한 97년에는 국내 전공정 장비업체로는
처음으로 해외 반도체소자업체에 장비를 공급했다.

이해 매출은 수출 9백만달러를 포함, 3백30억원으로 늘어났다.

지난해에는 수출 5백만달러를 포함, 매출이 6백50억원에 달했다.

사장과 직원 2명으로 출발한 이 회사는 직원수도 현재 1백20여명으로
불어났다.

이 회사가 이같이 연평균 4백%의 고속성장가도를 달리고 있는 것은 세계
시장에서 대규모 장비제조업체와 경쟁할 수 있는 독창적인 기술과 제품을
확보하고 있기 때문이다.

이 회사가 3년여의 각고끝에 국산화에 성공한 주력상품은 매엽식 저압화학
증착장치(LPCVD).

모델명은 EUREKA(유레카)2000이다.

이 장비는 반도체 기판위에 다결정 실리콘 등의 전도성막 혹은 산화.질화막
등의 절연막을 증착시키는데 사용된다.

관련 공정에 관한 각종 국내외 특허도 획득해 놓고 있다.

이같은 기술 우위성 덕분에 주성엔지니어링의 이 분야 국내시장 점유율은
지난 97년 80%에서 작년에는 1백%가 됐다.

현재 주성의 장비는 국내 반도체 3사의 양산라인에서 가동중이다.

주성의 장비는 앞으로 반도체소자의 고집적화가 가속화될수록 그 중요성이
더해질 전망이다.

세계시장진출을 위한 각종 국제안전규격 획득도 완벽하게 마쳤다.

97년 독일 안전인증 전문회사인 TUV라인란트 안전인증을 따낸데 이어 CE,
SEMI인증도 받아냈다.

주성은 이에 만족하지 않고 유레카 2000을 끊임없이 버전업하며 이 분야
기술우위를 지켜 나가고 있다.

부설 기술연구소를 설립한 지난해 7월에는 LPCVD와 차세대 유기금속화학증착
(MOCVD)공정을 동시에 수행할 수 있는 신장비를 내놓았다.

주성이 세계최초로 개발한 이 공정기술은 액체상태인 각종 반도체 증착물질
을 기체상태로 웨이퍼에 도포시키는 방식.

이 방식을 사용하면 칩 크기를 대폭 줄일 수 있을 뿐만 아니라 형성속도를
획기적으로 높일 수 있다는 것.

또한 이 기술은 현재 사용되고 있는 실리콘계 재료 대신 앞으로 기가(G)급
고집적IC생산에 도입될 구리 등의 화합물증착에도 적용이 가능한 첨단기술이
라고 주성측은 강조한다.

MOCVD공정기술의 핵심은 증착화합물의 공급시스템(LSD)과 플라스마 방식의
전세정기술.

주성은 자체 개발한 이 기술을 세계 각국에 특허 출원했다.

LSD는 액체상태의 반도체 증착물질을 기체화해 공정실내로 공급해 주는
장치.

기존 외국산 제품보다 훨씬 우수한 막 균일도를 보이는 등 품질이 뛰어나다.

플라스마 방식 전세정기술은 증착공정전후의 웨이퍼 세정시 기존에 사용하던
불화수소 등과 같은 유독성 물질 대신 플라스마를 이용, 환경보호에 기여하며
경제성도 높다.

주성은 이어 양산용 플라스마화학증착장치(PECVD)와 3백mm 웨이퍼용 LPCVD
장비도 개발하는데 성공했다.

"유레카3000"으로 명명된 이 장비는 삼성전자의 3백mm 웨이퍼 파일럿라인에
납품됐다.

주성측은 ASM등 세계유수의 장비업체를 제치고 3백mm 라인에 자사제품이
채택된 것은 차세대 장비경쟁에서 한발 앞설수 있는 기반을 마련한 것으로
평가하고 있다.

주성의 기술력이 외부로 알려지면서 지난해 벤처기업상 과학기술부장관상,
벤처기업대상 등 각종 상을 휩쓸었다.

이에따라 전문투자기관으로부터 자금을 수혈받아 기술개발기반을 더욱
다져가고 있다.

은행 등이 중심이 된 벤처펀드 아리랑구조조정기금은 주성에 1백56억원을
투자했다.

주성의 이같은 성장배경에는 황철주 사장의 남다른 집념과 독특한 경영철학
이 있었다.

국내외 반도체 관련업체에서 10여년간 근무한 황 사장은 끈질긴 연구끝에
남들이 불가능하다고 여겼던 화학증착장비의 국산화를 이뤄냈다.

현실에 안주하기보다는 청년정신으로 끊임없이 모험과 변화를 시도하는
것이 주성의 경영전략이다.

그래서 회사 직원의 평균나이도 29세도 젊다.

전체 직원의 25%가 석.박사이며 개발인력이 44명으로 전체 인원의 30%가
넘는다.

연구개발에 최대역점을 두고 있다.

매출의 20%이상을 연구개발에 투자하고 있다.

다른 기업보다 앞서 과장급 이상 연봉제를 실시해 오고 있다.

주 44시간 근무제를 준수하며 실력위주의 승진과 상여금 차등 지급 방식으로
직원들의 근무의욕을 고취하고 있다.

(0347)60-7061

< 노웅 기자 woongroh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1999년 4월 6일자 ).