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회생절차를 밟고 있는 다원시스의 반도체 장비 자회사 다원파워트론 인수전에 미국 반도체 장비업체 램리서치와 스위스 코멧 등이 참전했다.

9일 투자은행(IB) 업계에 따르면 다원파워트론 매각주관사 EY한영은 지난 6일 본입찰을 진행했다. 입찰에는 대여섯개 후보가 인수의향서(LOI)를 제출했다. 이르면 이번 주 우선협상대상자가 선정될 예정이다.

다원파워트론은 다원시스가 지난해 6월 반도체 전원장치 사업부를 떼어내 설립된 회사로 반도체 식각·증착 공정에서 플라즈마 파형을 정밀하게 제어하는 전원장치를 만든다. 공정이 미세해질수록 플라즈마를 얼마나 정교하게 다루느냐가 수율을 좌우하는 만큼 반도체 핵심 부품으로 꼽힌다. 이 회사는 해외 소수 업체가 주도해온 이 기술을 국산화해 국내 처음으로 반도체 양산 공정에 적용한 것으로 알려졌다. 설립 첫해인 지난해(6~12월 기준) 매출 28억원, 순이익 1억원을 기록했다.

세계 1위 식각장비 업체인 램리서치는 다원파워트론의 고객사다. 다원파워트론의 전원장치는 램리서치 식각장비에 탑재돼 삼성전자에 공급돼왔다. 업계에서는 램리서치가 핵심 부품 기술의 내재화를 염두에 둔 것으로 보고 있다. 플라즈마 제어용 전원장치 업체인 코멧은 과거에 인수를 검토했다가 이번에 다시 뛰어들었다. 일각에서는 외국계 기업이 인수할 경우 국내에서 개발한 반도체 공정 기술이 해외로 이전될 수 있다며 신중한 검토가 필요하다는 목소리도 나온다.

다원파워트론의 최대주주는 엔지니어링공제조합(46.7%)이고 2대 주주는 다원시스(45.3%)다. 공제조합은 지난해 9월께 다원시스에 1000억원을 대출했고, 이에 대한 담보권을 행사해 지분을 확보했다. 다원시스에 1조원대 보증을 섰다가 손실 위기에 놓인 공제조합도 보유 지분을 함께 넘길 것으로 업계는 보고 있다.

다원시스는 철도차량 납품 지연으로 지난해 말 이재명 대통령으로부터 “정부기관이 사기당한 것 아니냐”는 공개 질책을 받은 뒤 계약 해지와 고소가 잇따랐고, 경영난이 심화하며 올해 4월 회생절차에 들어갔다. 현재 매각이 추진되고 있다.

최다은 기자 max@hankyung.com