청색 LED(발광다이오드)의 핵심 생산공정인 GaN(갈륨나이트라이드)증착을
위한 유기금속 화학증착(MOCVD)장비가 개발됐다.

한백(대표 박근섭)은 솔로몬으로 이름 붙인 이 장비를 3년간 10여억원을
들여 개발, 광전자반도체에 납품했다고 일 밝혔다.

광전자반도체는 올해중 청색LED 생산을 시작할 계획이다.

한백은 이 장비를 연간 10대 생산 할 수 있는 클린룸 시설을 이달말까지
갖춰 본격 영업에 나설 계획이다.

또 미국과 대만의 신규 청색LED 제조업체를 대상으로 집중 영업을
벌이기로 했다.

최근 인터넷과 국제학술지등을 통한 홍보에도 나섰다.

이 장비는 일본의 니치아케미칼과 미국의 크리등 선진국의 일부 청색
LED 생산업체및 반도체 장비업체에서만 제조기술을 확보한 첨단장비로
대당 가격이 1백만달러에 이른다.

박 사장은 "국산화가 전무하다시피 한 화합물반도체용 핵심 생산장비란
점에서 의미가 크다"고 말했다.

이 장비로 GaN을 증착해 만든 청색 LED의 밝기는1칸델라(촛불 한개
밝기수준)급이고 증착속도는 시간당 2.5미크론m(1미크론m=1백만분의 1m)로
빠른 편이다.

불순물 농도도 10의7승~10의8승/평방cm으로 낮다.

또 이 장비를 활용할 경우의 청색LED 생산수율은 50%이상으로 외국장비를
쓸때의 20%를 훨씬 웃돈다고 회사측은 설명했다.

청색 LED는 옥외용 대형표시장치로 각광받고 있는 LED의 핵심기술이다.

빨간색과 노란색의 빛을 내는 LED에 비해 만들기 까다롭기 때문이다.

국내에서는 삼성전기 LG전자 광전자반도체등이 청색LED 생산을 준비중
이다.

이번 GaN 증착장비의 국산화는 국내에서의 청색 LED양산에 큰 도움을 줄
전망이다.

LED의 세계시장 규모는 연간 3억달러(97년 기준)로 오는 2005년엔
1백억달러에 이를 것으로 예상되고 있다.

(042)935-4904

< 오광진 기자 kjoh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 7월 14일자 ).