삼성전자가 반도체검사에 사용되는 "일련 칩검사장비( In-Line Chip
Handler )"를 개발했다고 27일 발표했다.

2년여동안 10억원의 연구비가 투입된 이 장비는 칩의 불량여부를
등급별로 분류하고 양품에 레이저마킹을 하며 고속화상처리시스템을
이용해 최종합격품을 분류하는 기능을 갖고 있다.

16메가와 64메가D램의 칩을 검사할수 있다.

삼성전자는 우선 자체 생산라인에 이 장비를 사용하고 앞으로 성능을
향상시킨 시스템을 개발,판매에도 나설 계획이다.

< 김낙훈 기자 >

(한국경제신문 1997년 4월 28일자).