울산과학기술원(UNIST)은 21일 울산의 반도체 가스 분야 전문기업 후성과 공동 연구 플랫폼을 열었다. 탄소 배출량이 적은 반도체 소자 형성 기술(Low GWP 식각 기술) 개발을 위한 개방형 공동 연구 플랫폼이다. UNIST와 후성은 이 플랫폼을 통해 Low GWP 식각용 가스 및 식각 기술 개발, 차세대 반도체용 공정 기술 및 소재 개발, 차세대 원천 연구 과제 발굴, 핵심 인재 양성 협력 등에 본격 나선다. 이용훈 UNIST 총장은 “우리나라 반도체 발전에 크게 기여할 것”이라고 말했다.