이머전 스캐너 등 도입…중소기업에 제품 성능 검증 지원
나노종합기술원 내년부터 12인치 반도체 테스트베드 서비스

나노종합기술원이 내년부터 소재·부품·장비(소부장) 분야 중소기업을 대상으로 12인치 웨이퍼(반도체 기판) 테스트베드 서비스를 제공한다.

이조원 나노종합기술원장은 15일 대전 기술원에서 기자 간담회를 열고 "최근 300㎜(12인치) 웨이퍼 테스트베드 구축을 끝내고 내년 1월부터 국내 중소기업에 기술을 지원할 계획"이라고 말했다.

기술원은 지난해부터 2022년까지 총사업비 450억원을 투입해 반도체 장비·시설 구축, 공정 개발 등을 추진하고 있다.

일본 수출 규제에 대응해 해외 의존도가 높은 반도체 소재 부품 장비의 국산화를 지원하기 위한 것이다.

1천㎡ 규모 청정실에 불화아르곤 이머전 스캐너(ArF Immersion Scanner), 증착·식각 장비 등 10종의 핵심 설비를 도입해 테스트베드를 구축했다.

이머전 스캐너는 반도체 공정에서 빛을 쪼여 패터닝 하는 반도체 소재인 포토레지스트(감광제)를 평가하는 장비로, 가격이 1천억원에 달해 중소기업이 보유하기 어려웠다.

국내 기업들은 일본 수출 규제 이후 벨기에 첨단연구센터인 아이멕(Imec) 등에서 검증 시험을 하고 있으나, 비용이 너무 비싸 이용에 한계가 있었다.

기술원은 12인치 웨이퍼 테스트베드를 통해 중소·중견기업이 개발한 반도체 핵심 소재의 성능 평가를 돕고, 삼성전자나 SK하이닉스 등 수요기업 연계도 지원할 계획이다.

앞으로 2단계 사업으로 40nm(1㎚는 10억분의 1m)급 패터닝 공정 기술을 20nm급 다층 공정으로 끌어올려 테스트베드를 구축하는 것을 목표로 하고 있다.

이 원장은 "올해 중소기업의 원내 장비 이용 건수는 3만4천357건, 서비스 제공 건수는 1만6천738건으로 이용률이 매년 증가하는 추세"라며 "시스템 반도체 개발 지원, 반도체 공정 기반 나노 메디컬 디바이스 개발, 사물인터넷(IoT) 센서 제품화 지원 등으로 애로 기술 해결에 힘쓰겠다"고 말했다.

/연합뉴스

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