서강대학교 열역학 · 초임계유체연구실(책임교수 유기풍 · 사진)은 다양한 물리적 특성을 지닌 초임계 유체를 이용한 신공정 개발을 주도할 목적으로 설립됐다. 초임계유체기술은 최근 새로운 녹색기술의 하나로 각광받고 있는 분야다. 제조산업에서 전통적으로 사용하는 액체나 기체상태의 용매를 사용하지 않고 용매의 상태를 밀도는 액체와 같으면서 확산도나 점도는 기체처럼 움직이는 초임계 상태로 조정해 지금까지는 제조가 불가능했던 차세대 신기술을 개발하는 원천 기술을 일컫는다. 이는 다양한 산업분야에 적용될 수 있는 기술로 알려져 있다. 특히 연구실의 책임교수인 유기풍 교수는 이 분야에서 국내외 선도적 위치를 차지하고 있는 연구자로 알려져 있다는 것이 연구실 측 설명이다.

유 교수는 2004년부터 현재까지 지경부 산하 에너지관리공단의 지원을 받아 '에너지 절약형 차세대 초임계유체 기술 연구사업단'의 단장을 맡고 있다. 이 사업단은 다수의 국내 대학,연구소와 기업으로 구성된 컨소시엄 연구사업단으로 차세대 환경 및 에너지 절약 신기술 개발에 주력하고 있다.

서강대 열역학 · 초임계유체연구실은 최근 차세대 반도체 생산공정법을 중점적으로 연구하고 있다. 지금까지 나노패턴 웨이퍼를 제조할 때 쓰던 다량의 초순수를 이용하는 습식 세정기술을 녹색 초임계 이산화탄소를 사용한 방법으로 대체해 물을 전혀 사용하지 않는 반도체 세정기술의 기초연구와 상용화 연구에 매진하고 있다.

초임계 유체를 이용한 차세대 반도체 건식 세정 기술에 대한 연구는 반도체 산업에 중요한 기술로 알려져 있다. 연구실 관계자는 "이 분야에서 사용되는 기술을 상용화하기 위해서는 막대한 금액과 다양한 기반 기술이 필요하다"며 "자본 및 기술 집약적인 연구이기 때문에 세계적으로 많은 주목을 받고 있음에도 불구하고 연구를 진행 중인 곳이 많지 않은 실정"이라고 설명했다.

현재 연구실은 지식경제부의 지원을 받아 반도체 산업 관련 업체들과의 산학협력을 통해 세정공정뿐만 아니라 각종 관련 기술을 상용화하는 연구에도 주력하고 있다

유기풍 책임교수는 "앞으로 독보적인 기술확보에 주력하겠다"고 강조했다.

임기훈 기자 shagger@hankyung.com