세미안테크놀러지(대표 이광희)는 반도체 폐기가스 처리기를 출시했다. 이 제품은 메모리 및 비메모리 반도체 공정에서 사용되고 배출하는 유해가스를 연소한 후 습식처리하는 장비다. 산화반응기와 습식처리부를 일체형으로 만들어 효율이 높다는게 회사측의 설명이다. 회사 관계자는 "산화 반응기 내부로 공기를 주입해 내부 벽면에 고형물이 고착되는 것을 방지했다"고 강조했다. 수동 및 자동으로 운전할 수 있다. 가격은 3천5백만원. (031)670-4697 문혜정 기자 selenmoon@hankyung.com