아남반도체는 반도체 제조공정에 사용되는 산화막 슬러리(연마제)를 국산화하는데 성공했다고 16일 밝혔다.

아남반도체는 지난 2년간 약 5억원의 개발비용을 투입, 산화막 슬러리를 개발했으며 현재 관련 특허를 출원중이라고 덧붙였다.

아남은 중소기업인 동진쎄미켐에 이 기술을 제공, 연간 3천t 규모의 제품을 생산할 계획이라고 밝혔다.

회사측은 최근 반도체의 설계와 제조에 첨단 배선기술이 잇따라 도입됨에 따라 신 공정기술을 뒷받침하기 위한 다양한 신소재를 개발하는데 힘쓰고 있다.

이 회사 관계자는 "이번에 개발한 연마제도 이같은 반도체 첨단 소재중 하나"라고 말했다.

아남은 슬러리 국산화를 계기로 칩 제조 집적화에 따른 원자재 국산화 연구개발 투자를 강화해 반도체 소재기술를 선도하기로 했다.

< 이익원 기자 iklee@hankyung.com >

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