반도체 장비업체 아펙스(대표 김상호)가 엑시머 진공자외선(VUV)을 이용한 세정장비를 국산화했다고 11일 밝혔다.

회사측은 일본 쿼크시스템 노아시스템 등과 기술제휴를 맺고 첨단 기술을 활용한 드라이클리닝 장비를 개발했다고 설명했다.

엑시머 VUV기술을 채택한 신제품은 고출력.단파장의 진공자외선을 조사해 반도체나 LCD 등 각종 소재 표면에 붙어있는 이물질과 유기물을 산화시켜 제거하는 첨단 광세정장비다.

회사측은 "반도체.LCD.PDP 제조공정에서 PR(포토레지스트)도포전이나 CVD(화학물증착)공정전의 유기물 제거는 물론 폐수처리 같은 환경산업에도 응용해 사용할 수 있다"고 설명했다.

김 사장은 "열이 나지 않는 단파장 자외선을 사용해 열에 의한 손상 위험을 없앴다"며 "오염물질도 배출하지 않아 환경친화적 장비"라고 말했다.

(0431)260-2000 이방실 기자 smile@ked.co.kr

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