신성이엔지(대표 이완근)가 미국의 ADEPT에 3백mm 웨이퍼용 반도체장비인 폽오프너(FOUP opener)를 수출키로 했다고 19일 발표했다.

이 장비는 여러 장의 웨이퍼를 담는 용기인 폽을 여닫는 장치로 웨이퍼를 라인에 제때 투입할 수 있도록 돕는 역할을 한다.

웨이퍼의 돌출여부를 감지하고 정확한 위치를 파악하는 등 다양한 기능을 수행한다.

로봇과 결합시키면 로더.언로더가 된다.

이 장비는 차세대 규격의 웨이퍼를 다루는 장비여서 내년이후 3백 웨이퍼용 반도체라인 설치가 늘면 수요도 급증할 것으로 예상되고 있다.

수출계약을 맺은 ADEFT는 반도체용 로봇 등을 판매하는 미국 굴지의 업체여서 이 시장 진출의 교두보 역할을 할 것으로 기대되고 있다.

신성이엔지는 14명의 인력과 5억원의 개발비를 투자해 2년동안 연구끝에 이 장비를 상품화했다.

국내에서는 삼성전자의 파일럿 라인에 공급했고 현대전자에도 이달중 납품할 예정이다.

개발을 맡았던 최기태 부장은 "외국제품에 비해 가격과 성능에서 경쟁력이 앞서고 있어 내년부터 판매가 급증할 것"이라며 "내년 매출을 4백억원으로 잡고 있다"고 말했다.

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김낙훈 기자 nhk@ked.co.kr

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