삼성전자는 0.10미크론(1미크론 =100만분의 1m) 이하의 초미세 회로선폭을 가진 반도체 제조에 필수적인 아르곤플로라이드(ArF) 감광제를 개발했다고 13일 발표했다.

감광제는 반도체 설계 회로를 사진으로 찍어 빛의 반응에 의해 원재료인 웨이퍼상에 형성시키는 제조 과정에서 필수적인 물질로 이번에 개발된 ArF 감광제는 해상도를 높이는 등의 장점이 있다고 회사측은 설명했다.

삼성은 또 이번 제조기술 확보로 초미세 회로 제작이 가능하게 돼 기가급 용량 이상의 반도체 상용화를 앞당길 수 있을 것으로 전망했다.

이 회사는 일본과 미국 등 선진 업체들이 그동안 차세대 초미세 회로 반도체 제작을 위한 새로운 감광제 공동 개발을 추진하는 상황에서 제조기술을 확보하게 됐다고 덧붙였다.

이에 따라 삼성은 기가급 반도체 시장의 주도권을 잡을 수 있게 됐다.

삼성전자는 이번 감광제 개발과 관련한 핵심 기술을 미국과 일본, 대만 등 세계주요 9개국에 특허 출원했으며 앞으로 10년간 특허 로열티로만 6백만 달러 이상의 수익을 올릴 것으로 기대했다.

이익원 기자 iklee@ ked.co.kr

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