한국디엔에스(대표 박창현)가 순수 자체기술로 종합도포현상기를 국산화,
국내반도체 제조업체에 공급한다고 8일 발표했다.

이 장비(모델명 K-SPIN8)는 실리콘 웨이퍼에 패턴을 형성 시키기 위한 도포
공정과 초자외선(DUV)을 이용, 패턴이 노광된 웨이퍼를 현상하는 기능을 하는
것으로 반도체 사진공정의 핵심장비이다.

한국디엔에스는 그동안 전량 수입에 의존해온 이 장비 개발로 연간
1천5백억원 이상의 수입대체효과를 거둘수 있다고 설명했다.

이 회사는 장비성능이 해외 일류메이커 제품보다 우수하고 가격경쟁력도
갖춰 수출전망이 매우 밝다고 덧붙였다.

64메가, 3세대 이상의 최신 공정에 대응하도록 설계.제작된 이 장비는 기존
장비에 비해 설치면적을 40% 이상 줄여 반도체 생산라인의 공간 활용도를
높인 것이 가장 큰 장점이다.

또 기존 장비에서 문제점으로 지적됐던 DUV 공정에서의 노광후 오븐의 온도
균일도 유지 및 웨이퍼 정체시간관리를 신규 개발한 기술(Arm Swing)로
정확한 제어가 가능토록 해 생산성을 크게 향상시켰다.

이 회사는 이 장비를 개발하면서 암 스윙 등 7건의 신기술을 국내.외에
특허출원했다.

이 장비는 특히 운용 소프트웨어를 모두 국내기술로 개발, 설명서 등을
한글로 작성함으로써 작업자의 능률을 크게 높일 수 있게 했으며 고장 등이
발생했을 때 즉각적으로 조치가 가능해 작업중지시간 등을 최소화 할 수 있게
한 것도 특징이다.

국내 반도체제조업체에서 이미 이 장비의 시험운용을 마쳤으며 곧 정품장비
2대가 생산라인에 투입될 예정이다.

연말까지 미국에 3대를 수출키로 계약이 체결된 상태다.

이 회사의 박창현 사장은 "국내소자업체들의 생산라인이 3세대 공정이상
으로 점차 교체되면서 내년에 국내 수요만도 50~70대로 예상된다"며 "합작사
인 일본디엔에스와 협의, 해외시장도 적극 개척할 계획"이라고 밝혔다.

< 노웅 기자 woongroh@ >


( 한 국 경 제 신 문 1998년 11월 9일자 ).