신성이엔지(대표 이완근)가 2백56메가D램이상의 차세대반도체 제조공정에
쓰이는 클린룸설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface)시스템을
국산화했다.

이 장비는 세계에서 세번째로 개발된 것으로 국내반도체 소자메이커들은
이제까지 연간 7백억원어치를 전량 수입해왔다.

SMIF시스템은 전체 웨이퍼 생산공정중 초청정 환경이 요구되는 부분만을
클래스 1(1입방피트트당 먼지 1개수준)이하의 상태로 유지시켜 주는 장치다.

예를들어 실리콘웨이퍼표면의 미세먼지를 없애는데 쓰인다.

이 장비는 작업수율을 크게 향상시키는 반면 전력소모는 최소화,
2백56메가D램과 1메가D램등 차세대 반도체를 제조하는데 필수적인 장비다.

기술적으로도 매우 어려운 분야여서 세계적으로 이 장비를 개발한
업체는 미국과 독일의 각각 1개사에 불과하며 아직 일본도 개발하지
못한 장비다.

이 시스템은 초소형클린룸장치,카세트 수납장치, 자동이송장치등으로
구성돼 있다.

신성이엔지는 지난해초 SMIF개발에 착수, 자동이송장치까지 개발을 완료,
SMIF토탈시스템을 구축하게 됐다.

공급가격은 외산에 비해 15%가량 싸게 책정할 계획이며 일본 대만
미국시장 개척에도 나서기로 했다.

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노웅 기자

( 한 국 경 제 신 문 1998년 4월 25일자 ).