반도체용 고순도 약품업체인 에어리퀴드코리아서비스가 엘지실트론에 웨이
퍼 제조용 화학약품을 공급키로했다.

25일 이회사는 웨이퍼 생산업체인 엘지실트론에 올해 29%암모니아수 4백80
톤과 30% 과산화수소수 7백20톤을 공급키로하고 오는 6월부터 공급에 들어간
다고 밝혔다.

이를위해 엘지실트론 구미공장에 현장에서 약품을 생산공급하는 온 사이트(
On-Site)공급 장치를 설치키로하고 4월까지 암모니아수 공급장치 1기와 과산
화 수소 정제장치 2기를 설치한다.

또 2차 증설작업을 거쳐 오는 99년부터는 연간 공급량을 암모니아수는 7백
20톤, 과산화수소는 1천2백톤으로 늘려서 현장에서 정제 공급하게된다.

에어리퀴드코리아는 미국의 반도체및 웨이퍼 제조공장에서 사용하는 온사이
트 약품공급 시스템 업체인 에어리퀴드의 한국법인으로 약품 충전과정에서
유발되는 2차 오염을 줄일수있는 적절한 공급시스템으로 한국 반도체 업체들
의 효율향상에 기여하게됐다고 회사측은 밝혔다.




(한국경제신문 1997년 2월 27일자).

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