한양기공(대표 김재욱)은 각종 가스캐비닛과 웨트스테이션(반도체세정
장비)을 국산화, 국내 장비업계에 새로운 지평을 열어가고 있다.

지난 86년 삼성전자출신의 반도체기술자 5명이 출자해 설립된 이후
가스캐비닛 웨트스테이션을 국산화한데 이어 지난94년 전량 수입에 의존했던
오토 웨트 스테이션을 개발, 국내외에 보급하고 있다.

오토웨트스테이션은 불산(HF)으로 웨이퍼의 산화막을 제거하는 공정에서
부터 세정 건조까지 자동으로 처리하는 세정장비이다.

한양기공은 또 VMB(가스분배설비)를 최근 개발, 7월부터 본격생산에
나선다.

이 회사는 미국의 세계적인 가스캐비닛업체인 에어프로덕터 케미컬사에서
가스캐비닛, 일본의 스가이사에서는 8인치 웨이퍼자동세정장치의 제반기술을
전수받고 있으며 지난해엔 국제품질보증규격인 ISO9002인증을 획득, 고품질
시스템을 구축했다.

최근엔 17억원을 들여 경기반월공장을 190평 증축, 완벽한 청정도를 유지
하는 청정실과 가스정류시설등 첨단설비를 마무리해 차세대에 대비하고
있다.

한양기공은 지난해 중국에 국내업계 처음으로 가스캐비닛을 수출한데 이어
최근 중국 CSMC일렉트로닉 머티어리얼사와 계약을 맺고 약75만달러상당의
오토 웨트스테이션을 수출한다.

또 말레이시아에도 100만달러어치의 오토 웨트스테이션을 수출할 예정이다.

김사장은 "치열한 경쟁에서 살아남기 위해서는 미래에 대비한 첨단제품을
꾸준히 개발해 나가는 것밖에 없다"고 강조하고 "수출에도 적극 나설 계획"
이라고 덧붙인다.

경기 반월공단내에 본사를 둔 한양기공은 종업원이 176명이며 올해
365억원의 매출을 기대하고 있다.

(한국경제신문 1996년 6월 10일자).