한양대 공업센터에 첨단반도체 연구센터 개설

입력1992.05.11 수정1992.05.11

한양대는 12일 교내 공업센터에 첨단반도체연구센터를 개설한다.
이센터의 규모는 청정실 63평 기계실 17평등 총80평이다.
반도체연구센터는 첨단박막코팅기계인 스퍼터 PECND(플라즈마화학증착기)
등의 공정장비를 갖추고 있으며 CAD(컴퓨터지원설계)실 주사현미경실등의
부대시설을 갖추고있다.
센터측은 단기적으로 실리콘소자및 회로의 설계를,장기적으로는
초고속소자및 회로와 센서 광소자등 특수소자,반도체공정장비등을 개발하는
한편 자동화연구등에 나설 계획이다

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