근.난시 치료를 비롯,초고집적 반도체 회로소자(ULSI)제조와 각종 물질의
극미세 가공등에 폭넓게 사용되는 `엑시머 레이저'' 제작기술이 국내 최초로
개발돼 연간 수백억원의 수입대체 효과를 기대할 수 있게 됐다.
한국표준과학연구원 레이저연구실 김용평박사팀은 10일 초고집적 반도체의
광원으로 이용하기 위한 단파장.고출력 레이저에 관한 연구를 하면서 그동
안 전량 일본으로 부터 수입해 오던 엑시머 레이저를 순수 국내 기술로 제
작하는데 성공했다고 발표했다.
김박사팀이 1년여동안 3천만원의 연구비를 들여 제작한 엑시머레이저는
자외선 영역에서는 유일하게 고출력을 얻을수 있는 레이저로 파장이 짧아
극미세 가공이 가 능하고 기존의 적외선 레이저 보다 가공면이 깨끗하다는
장점을 갖고 있다.
또 단위 광자당 에너지가 커서 적외선 레이저가 열에 의해 물질을
가공하던 것 과는 달리 엑시머 레이저는 물질을 구성하고 있는 분자의
구조를 절단하여 가공하기 때문에 열로 인한 물질의 변형을 막을 수 있다.
이에 따라 재료가공이나 광화학 분야는 물론 근.난시
치료,암치료,피부치료등 의료분야에서도 폭넓게 이용될 것으로 보인다.
현재 국내에는 일본으로 부터 수입한 연구용 엑시머 레이저
10여대(대당 10만달 러)가 있으며 의료 분야에 사용할 수 있도록 특수
기능을 첨부할 경우 대당 가격은 40만 달러를 넘는 것으로 알려지고 있다.
김박사팀이 만든 엑시머 레이저에는 국내에서 생산되지 않는
고속스위치등을 제 외한 거의 모든 부품이 국산품으로 설계돼 있어 이를
제품화할 경우 연간 수백억원 의 수입대체 효과는 물론 국제 시장으로의
진출도 가능할 것으로 기대된다.
한편 한국표준과학연구원은 이번에 개발한 엑시머 레이저를 산업체에
이전,제품 화할 방침이다.