한국전기연구원 구대현 박사 연구팀은 반도체 공장의 중간 생산물 이송장치(stocker)에 쓰이는 5㎾급 비접촉식 전원공급장치를 개발했다고 28일 밝혔다. 이에 따라 지금까지 전량 수입에 의존했던 비접촉 전원장치를 국산화해 매년 200억~300억원의 외화를 절약할 수 있게 됐다. 이송장치는 반도체 제조 과정에서 원판(wafer)이나 액정표시장치(LCD)용 유리등을 잠깐 보관했다가 다음 제조과정으로 옮기는 역할을 한다. 그런데 이송장치의 크기가 커지면서 전력을 공급하기 위한 전선이 움직이는 과정에서 생기는 미세먼지가 반도체의 품질을 떨어뜨린다는 문제점이 발견된 것. 이번에 개발된 장치는 220V 전기를 20~50㎑의 고주파로 바꾼 다음 변압기에서쓰이는 전자기유도 방식을 이용해 구동 부위에 전기를 공급한다. 전력 변환 효율이 95% 이상이고 3% 이내의 전압 오차를 갖기 때문에 정밀한 제어를 필요로 하는 반도체 제조 공장에서 사용하기에 적합하다는 것이 연구팀의 설명. 구대현 박사는 "비접촉식 전원장치는 반도체 제조설비와 함께 산업, 교통, 의료분야 등 불필요한 마찰이나 그로 인한 불순물이 생기면 안되는 곳에 다양하게 쓰일수 있다"고 말했다. 한편 이번 연구에 참여한 반도체 설비 제조업체 ㈜신성이엔지[11930]는 "이 장비를 상용화해 오는 2003년에 내수 300억원, 수출 150억원 정도의 매출을 올릴 것"이라고 말했다. (서울=연합뉴스) 김세진기자 smile@yna.co.kr