테스는 SK하이닉스와 179억6000만원 규모 반도체 제조장비 공급계약을 체결했다고 20일 공시했다. 이번 계약금액은 지난해 말 연결 기준 매출액의 6.5%에 해당한다. 계약기간은 2019년 1월28일까지다. 고은빛 한경닷컴 기자 silverlight@hankyung.com
테스는 반도체 장비에 적용되는 기술인 마스크 어셈블리에 관한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.회사 측은 "쉐도우 프레임을 상기 마스크 프레임의 상면과 동일 면상 또는 상기 마스크 프레임의 상면보다 아래에 위치하도록 배치해 가스공급부와 마스크 사이의 거리를 현저히 줄임으로써 종래에 비해 상대적으로 공정마진을 크게 할 수 있게 되어 플라즈마 밀도를 향상시키고 박막의 균일도를 개선할 수 있다"고 설명했다.이소은 한경닷컴 기자 luckysso@hankyung.com