반도체 및 태양전지 장비업체 테스(대표 주숭일)는 21일 중국 하이닉스 뉴모닉스(Hynix-Numonyx Semiconductor Ltd)에 39억원 규모의 반도체 플라즈마화학기상증착장비(PECVD) 장비를 공급한다고 공시했다.

반도체 설비투자가 침체를 벗어나 조금씩 회복되고 있는 가운데 지난주 삼성전자 장비공급에 이어 공급계약을 체결했다. 이는 지난해 매출의 8.4% 해당하는 규모다.

테스가 납품하는 장비는 PECVD로 300mm 반도체 웨이퍼에 플라즈마를 이용 비정질탄소막(Amorphous carbon layer)을 입히는데 사용된다.

회사 관계자는 "이번 공급하는 PECVD ACL장비는 공정미세화에 대응 가능한 장비로 최근 공정미세화가 활발히 진행되고 있어 ACL 장비 수요증가가 기대된다"고 말했다.


한경닷컴 정형석 기자 chs8790@hankyung.com