동진쎄미켐은 미국 TI(Texas Instruments)사에 차세대 반도체 양산용 ArF(불화 아르곤) 레지스트를 공급하게 됐다고 28일 밝혔다.

이번에 공급이 결정된 ArF 레지스트는 193 ㎚(나노미터)의 단파장에서 100㎚의 미세 패턴을 구현할 수 있는 것으로 그동안 세계의 유수한 레지스트 회사들이 양산 적용을 위해 치열하게 경합해 온 품목이라고 동진쎄미켐측은 설명했다.

ArF 레지스트를 이용한 새로운 반도체 양산 공정은 내년에는 로직 반도체 회사에서, 2004년부터는 메모리 반도체 회사에서 본격적으로 사용, 기존의 KrF(불화크립톤) 레지스트를 대체할 것으로 전망된다고 회사측은 밝혔다.

동진쎄미켐은 이 품목에서만 올해 20억원, 내년 300억원, 2004년 600억원의 매출을 올릴 것으로 예상하고 있다.

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