주성엔지니어링은 10일 유기금속 화학기상 증착장치에 대해 특허취득했다고 밝혔다. 회사는 반도체 소자 제조용 유기금속 화학기상 장비에 있어서 챔버자체의 온도를 정밀하게 조절할 수 있는 것으로 이 장비를 사용할 경우 박막의 순도를 높이고 증착속도를 조절할 수 있는 장점을 지니고 있다고 소개했다. 회사는 이 특허취득으로 반도체 장비의 경쟁력이 강화될 것으로 기대하고 있다.투자액은 4억원. [한경닷컴 뉴스팀]