다산씨앤드아이 미국 특허 취득

입력2006.04.02 18:40 수정2006.04.02 18:43

다산씨앤드아이는 1일 '클러스터를 이용한 세정 장치 및 방법'으로 미국 특허를 취득했다고 밝혔다. 이번 특허는 반도체 제조공정용 장비인 웨이퍼 세정장비의 일종으로 기존 장비와는 다른 방법인 건식세정방법을 이용한 기술인 것으로 알려졌다. [한경닷컴]

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