유니셈은 대만의 파워칩 세미콘덕터사와 3억4천3백만원 규모의 스크러버 수출계약을 체결했다고 3일 공시했다.계약기간은 3월말까지이다. 유니셈은 이와함께 반도체 공정에서 배출되는 프로세스 가스와 클리닝 가스를 동시에 처리할 수 있는 폐가스 처리시스템에 관한 국내 특허를 취득했다고 밝혔다. [한경닷컴]