코스닥등록 반도체장비 제조업체 유니셈은 6일 수용성 폐가스 처리장치 및 방법으로 국내 특허를 취득했다고 공시를 통해 밝혔다.

유니셈 관계자는 "수용성 폐가스 처리장치는 암모니아 등 물에 녹는 폐가스를 처리해 주는 장치로 현재 반도체 공정에 적용하고 있다"고 말했다.

유니셈은 지난 98년 5월 이 장치 및 방법으로 특허를 출원했다.

한편 유니셈은 스크러버와 항원제어장치로 해외시장에 진출해 지난해 미국으로 약 4%정도의 매출을 올리는데 그쳤으나 올해는 해외수출 비중을 매출의 30%까지 늘렸다고 밝혔다.

유니셈 관계자는 "지난해부터 대만과 싱가폴, 일본, 미국, 중국 등과 진행중으로 올해부터는 매출이 기대된다"고 밝혔다.

유니셈은 올해 450억원의 매출과 100억원의 순이익을 목표로 잡고있다.

한경닷컴 김은실기자 kes@hankyung.com