제우스, 전력반도체용 급속열처리장비 첫선
이 회사가 다음 달 선보이는 RTP 장비 'RHP시리즈'는 특허를 취득한 평직물 구조의 텅스텐 할로겐 램프를 동심원 형태로 구성해 웨이퍼에 열을 균일하게 전달하는 게 특징이다. 체임버 하부에 위치한 3개의 파이로미터(온도 측정 부품)를 통해 회전하는 웨이퍼 온도를 측정함으로써 온도 제어의 용이성을 확보하도록 설계했다는 게 회사 측 설명이다.
제우스 관계자는 "급속 열처리 공정은 단일 웨이퍼 단위로 열처리가 가능한 게 장점이지만 정확한 온도 측정 및 제어, 균일한 온도 유지가 어려운 게 단점"이라며 "RHP 시리즈는 기존 단점을 최소화할 수 있도록 기술을 끌어올렸다"고 말했다. 이어 "실리콘(Si) 웨이퍼뿐 아니라 전기차, 스마트폰, 인공지능(AI), 5G 산업 분야의 차세대 반도체로 각광받는 전력반도체에 사용되는 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 공정 처리도 가능하다"고 강조했다.
제우스는 RTP를 비롯한 다양한 공정 및 장비를 지난해 경기화성바이오밸리에 구축한 연구·개발(R&D)센터에서 고도화하고 있다. 이곳은 19나노 파티클 측정기, 오존 발생기, 타원분광분석계 등 첨단 분석 및 계측 설비와 고청정 클린룸(클래스1000)을 갖춘 테스트베드다. 제우스 장비를 활용해 신규 공정을 개발하는 것은 물론, 고객사의 라이브 데모, 화학적 분석 및 폴리머 합성 솔루션 등 다양한 팹서비스를 제공하는 공간이라고 회사 측은 설명했다.
김병근 기자 bk11@hankyung.com
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반도체·디스플레이 제조장비 및 로봇 전문기업 제우스는 올해 3분기 연결 기준 영업이익이 전년 동기 대비 418.1% 증가한 230억원을 기록하며 어닝 서프라이즈를 달성했다고 14일 밝혔다.제우스의 2022년 3분기 누적 실적은 연결 매출 3602억원, 영업이익 316억원, 순이익 243억원으로 집계됐다. 전년 동기 대비 매출은 26.7% 성장했으며 영업이익과 순이익은 각각 127.2%, 96.9%로 대폭 증가했다.지난 2분기에는 신제품 연구개발 비용이 집중 투입되고 글로벌 공급망 문제와 일부 지역의 코로나19 봉쇄 정책 영향으로 반도체 장비 납품이 지연되며 실적이 기대보다 다소 미진했다. 그러나 3분기에는 성공적으로 신제품 개발을 마무리하고 일부 지연됐던 반도체 장비 납품이 정상적으로 이뤄졌으며 적극적인 국내외 영업 활동으로 디스플레이 생산 장비용 로봇과 공정 장비 등 전 사업 부문의 매출이 크게 늘어 호실적을 이끌었다.3분기 호실적을 달성하고도 제우스의 수주잔고는 4955억원에 달해 향후 실적 전망도 긍정적이다. 또한 회사는 현재 반도체 장비 국산화를 원활히 추진하고 있으며 반도체 부문 신제품도 단계적 결실을 맺고 있는 상황이다. 자체 개발 로봇에 대한 수요도 증가하는 추세로 다양한 중장기적 먹거리를 확보하며 지속적인 성장을 기대하고 있다.제우스 관계자는 "주요 제품인 배치타입(Batch-Type) 반도체 장비와 함께 싱글타입(Single-Type) 장비도 수요가 증가하고 있다. 또한 반도체 부문 신제품을 양산 준비 중이며 자체 개발한 산업용 로봇의 지속적인 수요 증가도 예상된다"며 "제우스는 어닝 서프라이즈를 달성한 3분기 성장 추세를 올해 온기 실적까지 이어가는 것은 물론 견조한 장기 실적을 전망하고 있어 이를 통해 회사가치를 증명해낼 것"이라고 말했다. 차은지 한경닷컴 기자 chachacha@hankyung.com
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올해 T1만 만나면 패배한 젠지, 이번엔 복수에 성공할까 [이주현의 로그인 e스포츠]
[이주현의 로그인 e스포츠] 는 게임을 넘어 스포츠, 그리고 문화콘텐츠로 성장하고 있는 e스포츠에 대한 이야기를 다룹니다. 인상 깊었던 경기들은 물론, 궁금했던 뒷이야기 나아가 산업으로서 e스포츠의 미래에 대해 분석합니다.2022 LCK(리그오브레전드 챔피언스 코리아) 서머 스플릿 최강자가 오늘 가려진다. 정규리그 1위 자리를 놓고 치열하게 경쟁 중인 T1과 젠지e스포츠가 30일 맞붙는다. 두 팀은 현재까지 각각 12승 1패로 3,4위권 팀과 큰 격차를 벌리며 압도적인 실력을 뽐내고 있다. 양 팀이 남은 경기에서 모두 이긴다면 오늘 경기의 승자가 사실상 1위가 된다.젠지는 명실상부한 강팀이다. 이번 시즌 T1과 담원 기아를 제외한 모든 팀을 상대로 2대0 완승을 거뒀다. 담원을 상대로도 1라운드 2대1로 승리했다. 현재까지 세트 기준 25승 3패로 강력함을 뽐내고 있다. 팀 지표 측면에서도 평균 경기 시간이 30분 19초로 가장 짧고 평균 킬은 14.4로 가장 많다. 말 그대로 폭발적인 경기력을 보여주고 있다. 이를 보여주듯 젠지 선수들 역시 각종 지표에서 최상위권에 올라 있다.그런 젠지에 서머 시즌 유일한 패배를 안긴 팀이 바로 T1이다. 젠지 입장에서 T1은 트라우마에 가깝다. 2021년 LCK 서머 스플릿부터 현재까지 상대 전적이 7전 전패다. 이번 시즌뿐 아니라 올해 내내 중요한 순간에 T1을 넘지 못했다. 스프링 스플릿에서 젠지는 15승 3패로 일반적이라면 리그 1위를 다툴 만한 퍼포먼스를 보였다. 하지만 18승 0패로 전승을 달성한 T1에 밀려 2위에 그쳤다. 스프링 결승전에서도 3대1로 패하며 아쉬움을 삼켰다.젠지가 오늘 T1전의 악몽에서 벗어나기 위해선 도란(최현준)의 역할이 중요하다. ‘T1의 상수’라고 불리는 제우스(최우제)를 막아내야 하기 때문이다.제우스는 현재 POG(Player of the Game) 포인트가 총 1000점으로 LCK 1위다. 그만큼 꾸준히 활약하고 있다. 평균 킬과 킬 관여율이 각각 3.2와 67.9%로 탑 라이너 중 가장 높다. 팀 내 데미지 비중도 28.3%로 에이스 역할을 톡톡히 하고 있다. 최근 광동 프릭스와의 경기에서 오른과 그라가스로 활약하며 탱커 챔피언까지 모두 잘 다루는 육각형 탑솔러의 정점을 보여줬다.도란의 최근 폼도 제우스에 밀리지 않는다. 도란의 KDA는 4.78로 탑 선수들 중 가장 높다. 킬과 어시스트를 데스로 나눈 값으로 높을수록 적게 죽고 상대를 잡는데 기여했다는 의미다. 분당 데미지(DPM) 또한 585로 1위다. 최근 DRX와의 경기 2세트에서 갱플랭크로 4킬 0데스 8어시를 기록하며 대활약하기도 했다.두 선수 모두 이번 시즌 나르와 갱플랭크를 선호하는 모습을 보였다. 따라서 두 카드는 금지될 가능성이 높다. 이를 의식한 듯 양 선수 모두 솔로 랭크에서 새로운 챔피언을 연습 중이다. 도란은 최근 사일러스와 카밀을 각각 9판과 5판 플레이했다. 나르의 대항마로 꼽히는 그웬도 11판 사용했다. 제우스 역시 카밀과 그웬을 각각 5판과 7판 꺼내들었다. 이에 더해 쉬바나를 5판, 레넥톤을 2판 플레이하며 조커픽으로 활용할 여지를 더했다.서머 시즌 우승팀은 리그오브레전드 월드 챔피언십(롤드컵) 직행이 확정된다. T1과 젠지 양 팀 모두 플레이오프 2라운드 상대팀 선택권을 갖는 리그 1위를 노리는 이유다. 유독 T1에게 약한 모습을 보였던 젠지가 오늘 트라우마를 극복할지, 아니면 T1이 다시 한번 젠지에게 공포심을 더할지 그 결과에 따라 서머 시즌 우승팀이 가려질 것으로 보인다.이주현 기자 2JuHyun@hankyung.com
![올해 T1만 만나면 패배한 젠지, 이번엔 복수에 성공할까 [이주현의 로그인 e스포츠]](https://img.hankyung.com/photo/202207/01.30782516.3.jpg)
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T1 제우스의 번개는 DK 너구리의 방패도 뚫을까 [이주현의 로그인 e스포츠]
[이주현의 로그인 e스포츠] 는 게임을 넘어 스포츠, 그리고 문화콘텐츠로 성장하고 있는 e스포츠에 대한 이야기를 다룹니다. 인상 깊었던 경기들은 물론, 궁금했던 뒷이야기 나아가 산업으로서 e스포츠의 미래에 대해 분석합니다.라이엇게임즈코리아가 주관하는 2022 리그오브레전드 챔피언스 코리아(이하 LCK) 서머가 열기를 더해가고 있다. 지난 19일에 있었던 T1과 KT롤스터의 통신사 더비는 64만 명이 시청했다. 현재까지 LCK 서머 기준 최고 시청자 수다. 그리고 오늘(25일) 그 기록이 깨질 것으로 보인다. 이번 시즌 강력한 우승후보로 꼽히는 두 팀이 맞붙기 때문이다. 바로 2022 LCK 스프링 시즌 우승 팀인 T1과 2020년 리그오브레전드 월드 챔피언십(이하 롤드컵) 우승 팀인 담원 기아(DK, 이하 담원)다. LCK 24연승 대기록까지 한 걸음 남은 T1, 상대는 '천적' 담원T1은 올해 스프링 시즌을 전승으로 우승하며 강력함을 뽐냈다. 서머 시즌에도 무패 행진을 이어가고 있다. 지난 23일 리브 샌드박스 전에서 승리하며 LCK 23연승을 달성했다. 최다 연승 기록으로 2015년 T1의 전신인 SKT T1이 세운 기록과 동률이다. 담원과의 이번 경기에서 이기면 24연승이라는 대기록을 세우게 된다. T1으로서도 욕심이 나는 상황이다.담원은 지난 스프링 최종 순위 3위에 그쳤지만 이번 서머 시즌 2020 롤드컵 우승 핵심 전력이었던 너구리(장하권)가 팀에 복귀하며 기대감을 키우고 있다. 담원은 이번 시즌 LCK 우승을 통해 롤드컵 직행을 노리고 있다. 지난 22일 젠지전 패배로 순위 경쟁에서 뒤처지며 이번 경기의 중요성이 더욱 커진 상황이다.두 팀 간의 상대 전적에선 담원이 44전 25승 19패(세트 기준)로 앞서고 있다. T1이 유일하게 상대 전적에서 밀리는 LCK 팀이 담원이다. 하지만 지난 스프링 시즌엔 T1이 4승 1패(세트 기준)로 최근 전적에선 앞선다. 제우스 VS 너구리...가슴이 웅장해지는 첫 대결이번 대결에서 가장 주목받는 라인은 역시 탑이다. 양 팀에서 가장 주목받는 선수들이 만나기 때문이다. 바로 T1의 제우스와 담원의 너구리다. 두 선수는 이번에 처음으로 맞대결을 펼친다. 제우스가 데뷔한 2021년에는 너구리가 중국리그인 LPL에서 활동했기 때문에 만나지 못했다.T1의 제우스(최우제)는 2021년도 스프링 시즌에 데뷔했다. 경력으로는 이제 2년 차인 신인 선수다. 하지만 2021년 롤드컵 4강 진출, 2022년 LCK 스프링 전승 우승, MSI 준우승 등을 달성하며 신인답지 않은 포스를 뽐내고 있다. 올해 MSI에서는 혼자서 상대를 18번 잡아내며 대회 최다 솔로킬을 기록했다.이번 서머 시즌에도 엄청난 활약을 뽐내고 있다. 경기에서 가장 활약한 선수에게 주어지는 POG(Player of Game) 포인트가 400점으로 지난 24일 기준 리그 1위다. 평균 킬 수는 4회로 탑 라이너 중 가장 많다. 15분간 평균 골드 격차도 1384.7로 압도적이다. 팀 내 데미지 비중(DMG%)과 분당 데미지(DPM) 역시 각각 31.9%와 651로 탑 라이너 중 가장 높다. 팀에서 핵심 딜러 역할을 수행한다는 의미다.담원기아의 너구리(장하권)는 2020년도 롤드컵 우승 후 2021년 중국리그인 LPL로 떠나 1년간 펀 플러스 피닉스(FPX)에서 활동했다. 2021년 LPL 스프링과 서머 모두 준우승이라는 준수한 성적을 거뒀으나 롤드컵 그룹스테이지 탈락이라는 고배를 마셨다. 2022년 스프링 시즌 휴식기를 가졌다. 이후 1년 반 만에 친정팀인 담원으로 돌아왔다. 2020 롤드컵 우승을 함께 했던 캐니언(김건부), 쇼메이커(허수)와 다시 합을 맞추며 많은 기대를 모으고 있다.서머 시즌도 공백기가 무색한 준수한 경기력을 보이고 있다. KDA(킬과 어시스트를 합한 값을 데스로 나눈 값)가 4.25로 탑 라이너 중 2위다. 평균 데스가 1.7로 매우 낮아 안정적인 모습을 보인 덕분이다. 팀 내 데미지 비중과 분당 데미지는 각각 22.1%와 428로 높은 편은 아니다. 하지만 15분간 평균 경험치 격차가 333으로 탑 라이너 가운데 1위이고 15분간 평균 골드 격차도 510으로 제우스에 이어 2위다. 두 선수가 모두 애용하는 제이스, 누가 꺼내들까두 선수가 우위에 있는 지표가 다른 이유는 팀 내 역할에 따라 챔피언 선택에 차이가 있기 때문이다. 제우스는 7경기 동안 4개 챔피언을 골랐다. 갱플랭크, 나르, 제이스, 그라가스다. 너구리는 7경기 동안 총 5개 챔피언을 사용했다. 갱플랭크, 나르, 세주아니, 아트록스, 그라가스다. 갱플랭크와 제이스는 데미지를 넣는 딜러 역할을 한다. 나르, 아트록스 그리고 그라가스는 딜러와 탱커 역할을 모두 수행하는 소위 딜탱형 챔피언이다. 반면 세주아니는 순수 탱커 역할을 맡는다. 상대적으로 탱커형 챔피언을 많이 택한 너구리가 데미지 지표에선 뒤처진 모양새다.물론 이번 2주 차부터 바뀐 패치가 적용되면서 두 선수의 챔피언 선택에도 변화가 생기고 있다. 이번 패치로 탑 라인에서는 그웬과 아트록스가 하향됐다. 한편 그라가스와 이렐리아, 그리고 트린다미어가 상향됐다.이번 두 선수 간의 대결에서 주목받는 챔피언은 제이스와 갱플랭크, 그라가스다.두 선수 모두 제이스로 유명하다. 양 선수의 모스트 픽 챔피언이기도 하다. LCK 경기 기준 제우스는 총 21판을 플레이해 16승을 거뒀다. 너구리 역시 37번 기용해 27승이라는 높은 승률을 보였다. 두 선수가 언제든 꺼낼 수 있는 챔피언이라는 얘기다. 실제로 제우스는 지난 리브 샌드박스와의 경기에서 제이스를 택했고 POG를 받았다. 갱플랭크는 현재 LCK 서머 기준 9승 3패로 높은 승률을 기록하고 있다. 제우스는 이번 시즌 갱플랭크를 뽑은 3판을 모두 이겼다. 2022 MSI에서도 활약한 만큼 담원 입장에서 경계하는 카드다. 너구리도 이번 시즌 리브 샌드박스와의 경기에서 사용해 승리를 거뒀기 때문에 충분히 꺼내들 수 있다.상향받은 그라가스도 나올 가능성이 크다. 제우스는 LCK에서 그라가스를 총 8번 기용해 8승을 거둘 정도로 좋은 기억이 있다. 너구리 역시 2021년 LPL에서 활동할 당시 스프링에서 3번 꺼내 모두 승리한 경험이 있다. 최근 젠지와의 경기에서 세트 승리를 거둔 전적도 있다. 딜러와 탱커 챔피언 모두를 상대로 버티기 좋은 챔피언이기 때문에 무난한 선픽 카드로 선택될 수 있다.이번 T1과 담원의 맞대결은 제우스의 번개 같은 공격성이 너구리의 노련한 방패를 뚫어낼 수 있느냐가 승부를 가를 것으로 보인다. 제우스는 지난 리브 샌드박스와의 경기 후 인터뷰에서 "너구리와의 대결은 버킷리스트"라고 말했다. 제우스가 세체탑(세계에서 가장 잘하는 탑라이너)으로 불렸던 너구리를 뚫어낼지, 아니면 너구리가 “아직 멀었다”며 제우스의 질주를 막아낼지 두 선수의 진검승부가 벌써부터 기대된다.이주현 기자 2JuHyun@hankyung.com
![T1 제우스의 번개는 DK 너구리의 방패도 뚫을까 [이주현의 로그인 e스포츠]](https://img.hankyung.com/photo/202206/01.30414239.3.jpg)
