최태원 SK그룹 회장

최태원 SK그룹 회장

SK머티리얼즈는 17일 초고순도 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 밝혔다. 순도 99.999%가 넘는 초고순도 불화수소는 반도체 회로를 깎고 불순물을 제거하는 데 필수적이다. 한국 반도체 업체들은 지난해 일본의 수출규제 조치 이전 이 소재를 일본에 거의 100% 의존했다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후 경북 영주 공장 내 15t 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다. 이번 양산을 통해 오는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다.

박영선 벤처기업부장관이 지난해 일본 수출규제 조치 이후 "국내 중소기업도 불화수소를 만들 수 있는데, 문제는 대기업이 중소기업 제품을 안 사준다는 것"이라고 지적하자 최태원 SK그룹 회장이 "만들 수는 있지만 품질에 문제가 있다"고 했던 소재가 불화수소다. 삼성전자와 SK하이닉스는 일본 수출규제 조치로 불화수소 수입에 어려움을 겪자 중국, 대만 업체들로부터 대체 수입을 해왔다.

SK는 불화수소와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업을 본격화했다. SK머티리얼즈는 최근 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. 하드마스크는 반도체 미세회로를 새기는 포토마스크 보조재료이고, 포토레지스트(감광액)는 반도체 제조의 첫 단계인 노광(露光·Photo) 공정에 필요한 소재다.

특히 불화아르곤 포토레지스트는 해외의존도가 90%에 달해 제품 양산이 본격화되면 국내 반도체 제조사들에 안정적인 소재 공급이 가능해질 것으로 SK는 관측하고 있다. SK머티리얼즈는 내년 생산시설을 준공하고 오는 2022년부터 연 5만갤런 규모의 포토레지스트 생산을 목표로 하고 있다.

노정동 한경닷컴 기자 dong2@hankyung.com

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