삼성전자가 반도체 공정에 사용하는 일본산 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체했다.

3일 관련업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 반도체 생산 라인에 일본산 이외의 제품을 투입했다. 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획인 것으로 알려졌다. 생산에 투입된 고순도 불화수소엔 국내 업체가 생산한 제품도 포함된 것으로 전해졌다. 불화수소는 반도체 원료인 웨이퍼에 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재다. 삼성전자의 국산화는 지난 7월 초 일본이 한국에 대한 고순도 불화수소 수출을 규제한 이후 약 두 달 만이다. 일본산이 아닌 불화수소를 테스트 중인 SK하이닉스는 아직 대체품을 양산에 투입하지 않고 있는 것으로 알려졌다.

황정수 기자 hjs@hankyung.com

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