[ 산업포장 : 최대규 뉴파워프라즈마 대표 ] 뉴파워프라즈마(대표 최대규)는 플라즈마 발생장치와 전원장치를 생산하는 반도체장비 전문제조업체다. 플라즈마 발생장치는 반도체 생산설비를 세척하는 데 쓰이는 것으로 반도체 제조공정에서 빠져서는 안될 핵심 장비다. 지난 1993년 설립된 뉴파워프라즈마는 'Trans-FET 방식 RF 제너레이터'와 '아날로그 자동매칭 네트워크'를 국산화하는 데 성공하는 등 기술력에서 탁월한 성과를 거두고 있다. 또 자체 부설연구소를 통한 지속적인 연구개발로 'ISO9001' 인증은 물론 '기술경쟁력 우수기업','유망 선진기술기업' 등으로 지정됐다. 특히 반도체 장비 세정용 '원격 플라즈마 발생장치(RPG)'는 지난 6월 기술표준원으로부터 신기술인증(NT)과 우수품질(EM)마크도 획득했다. RPG는 플라즈마를 이용해 반도체 생산설비의 하나인 'CVD 챔버' 내부를 세정하는 장비로 기존 제품에 비해 세정속도가 월등히 빠른 장점을 갖고 있다. 또 플라즈마 발생원료를 고가의 'NF3 가스'에서 저가의 'C3F8'로 대체해 재료비 및 오염이 줄어드는 장점도 있다. 뉴파워프라즈마는 RPG 국산화로 인해 상당한 수입대체 효과도 거둘 수 있을 것으로 기대하고 있다. 이같이 우수한 기술력을 확보한 공로로 산업포장을 받는 최대규 대표는 "NT와 EM 인증을 동시에 받고난 뒤부터는 반도체 생산업체로부터 주문이 밀려들어 요즘에도 불황을 모른다"고 말했다. 이밖에 뉴파워프라즈마가 생산하고 있는 주요 제품으로는 △임피던스 매처(Impedance Matcher) △드라이 스크러버(Dry Scrubber) 등이 있다. '임피던스 매처'는 플라즈마를 생성하고 유지하는데 필요한 장비이며 '드라이 스크러버'는 반도체 가공시 발생하는 PFC 가스를 분해하는 장치로 기존의 마이크로웨이브 방식에 비해 안전성이 높고 가격도 저렴해 반도체 업계에서 각광을 받고 있다.