하이닉스반도체[00660]가 반도체 300㎜ 웨이퍼라인 가동에 대비한 부설연구소를 이천에 설립했다. 하이닉스는 반도체 부설연구소로는 국내 처음으로 과학기술부 산하 한국산업기술진흥협회로부터 환경.안전.보건(ESH.Environment Safety & Health) 기술연구소 설립인가를 받고 이천 본사에서 3일 현판식을 가졌다고 밝혔다. 이 연구소는 ESH 기획팀, ESH 기술개발팀, 자원화 기술개발팀, 안전.보건 기술개발팀으로 구성돼 환경기술 개발, 재활용기술 개발, 안전.보건 기술개발, ESH 기술특허출원 등의 과제를 담당하게 된다. 특히 기존 200mm 웨이퍼 가공설비보다 규제가 까다로운 차세대 생산라인인 300mm 라인 가동에 대비, 최적의 과불화탄소 및 휘발성유기화합물(VOC) 방출요건, 가스,화학약품, 유틸리티의 소비요건 등에 적합한 종합적 대응기술을 개발할 예정이다. 하이닉스는 현재 청주공장에 설치된 클린룸 설비를 완료한 300㎜ 웨이퍼 라인에대해 내년 하반기 시험생산을 목표로 올 연말부터 연구개발 등에 본격 투자를 시작할 방침이다. 또 분야별 중점 연구과제를 선정해 연말까지 용수 사용량 10% 절감, 폐기물 재활용률 84% 달성, 과불화탄소(PFC) 물질대체 및 공정최적화, 반도체용 특수가스의위험성 연구 등도 진행할 계획이다. 이번 연구소 설립은 반도체 생산공정 및 장비사양의 고집적화, 생산공정에 사용되는 각종 가스 및 화학약품의 다변화, ESH 국제규제 강화로 인한 환경친화적 시스템 도입의 필요성에 따라 설립됐다고 하이닉스측은 밝혔다. 하이닉스 관계자는 "300㎜ 웨이퍼라인 가동에 대비해 그린 컴퍼니(Green Company)라는 환경친화적 이미지 구축과 공정개선을 통한 원가절감 및 환경.안전.보건 기술판권을 통한 수익창출에 적극 나설 계획"이라고 말했다. (서울=연합뉴스) 권혁창기자 faith@yonhapnews