삼성전자가 메모리 반도체용 3백㎜ 웨이퍼 신규 라인 건설에 착수하면서 반도체장비업체들이 모처럼 생산에 활기를 되찾고 있다. 27일 반도체 장비업계에 따르면 삼성전자가 착수하는 라인은 3백㎜ 웨이퍼 전용 라인으로 내년 말까지 장비 및 설비 발주물량은 약 3조원에 이를 전망이다. 이중 1단계 발주가 이달 초부터 이뤄지고 있어 반도체장비업체들이 업체별로 30억∼1백억원씩 수주하고 있다. 에스티아이와 한양이엔지는 각각 1백14억원,60억원어치의 화학약품 공급장치(CCSS)를 수주했다. 내달께 납품에 들어가 내년 초 설치를 마칠 계획이다. 성도이엔지는 36억원 규모의 배관설비를 수주해 제작에 들어갔으며 신성이엔지도 40억원 정도의 클린룸 설비를 납품할 예정이다. 설비 공사가 활발하게 이뤄지면서 장비 납품도 본격화될 전망이다. 피에스케이테크 등 4∼5개 업체가 에셔장비(감광제를 입힌 웨이퍼에 회로를 만든 후 필요 없는 감광제를 제거하는 장치)를,삼성전자의 출자회사인 한국DNS 등이 세정장비를 납품할 예정이다. 라셈텍 등 칠러 생산업체들은 내년 초 장비를 납품할 수 있을 것으로 보고 있다. 국내 한 반도체 장비업체 대표는 "삼성전자에 이어 파운드리 업체들의 발주도 이어질 경우 내수경기를 회복시키는 데 큰 도움을 줄 수 있을 것"으로 전망했다. 고경봉 기자 kgb@hankyung.com