일본 반도체 장비업계의 지난 9월 매출이 16개월만에 처음으로 증가세로 돌아선 것으로 나타났다. 6일 일본 반도체장비협회(SEAJ)에 따르면 9월 수출을 포함한 일본 반도체장비업계의 매출은 1천330억엔으로 지난해 동기보다 17.8% 증가한 것으로 집계됐다. 이처럼 일본 반도체장비업계 매출이 증가한 것은 지난해 4월 이후 처음이다. 부문별로 마스크, 웨이퍼제조, 테스트장비 등은 각각 작년보다 3.4배, 6.5배, 92.7% 증가한 반면 웨이퍼프로세싱 및 반도체 제조 관련 장비 매출은 각각 2.5%, 11.1% 감소했다. 또한 같은 기간 수입을 포함한 일본의 반도체 장비시장 매출은 작년 동기 대비1.7% 증가한 587억엔을 기록했다. 웨이퍼제조 및 패키징 장비 매출은 각 6.2배, 95.8% 급증했다. 한편 일본산 반도체장비주문 규모는 작년 동기보다 104.3%나 폭등한 885억2천엔으로 지난 2000년 8월의 118.2% 급등 이후 가장 높은 증가세를 기록했다. (서울=연합뉴스) 국기헌기자 penpia21@yna.co.kr