9월중 수출을 포함한 일본제 반도체제조장비 판매액은 작년 동기대비 17.8% 증가한 1천330억엔으로 2001년 4월 이래 17개월만에 증가세로 돌아섰다고 니혼고교(日本工業)신문이 31일 일본반도체제조장비협회의 발표를 인용, 보도했다. 수입을 포함한 일본시장의 반도체제조장비 판매액도 1.7% 늘어난 587억엔으로 2001년 5월 이래 16개월만에 증가했다. 장비별 판매액은 스테퍼 등을 포함한 웨이퍼 프로세스용 처리장비가 2.5% 감소하고 반도체제조장비용 관련 장비도 11.1% 감소했으나 머스크레티클 제조용 장비가 3.4배, 웨이퍼제조용 장비가 6.5배, 검사용 장비가 92.7%나 각각 늘었다. 수입을 포함한 일본시장의 장비별 판매액도 웨이퍼제조용 장비가 6.2배, 조립용이 95.8% 각각 증가했다. (서울=연합뉴스) lhy@yna.co.kr