크린크레티브(대표 정구동)가 반도체 웨이퍼용 에지(Edge)슬러리를 국내 최초로 개발했다고 30일 밝혔다. 반도체 웨이퍼용 에지슬러리는 8인치 이상 웨이퍼의 외곽부분이 미세하게 갈라지는 현상을 막기 위해 연마하는 데 이용되는 재료다. 10∼100㎚(㎚는 10억분의 1m)의 미세 입자를 제어해 웨이퍼 표면의 평탄도를 결정하는 정밀기술을 요하며 그동안 전량 수입에 의존해왔다. 정구동 크린크레티브 대표는 "반도체 웨이퍼용 에지 슬러리 시장규모는 연간 1백50억원 정도"라며 "이번 국산화로 연간 1백억원 이상의 수입대체효과를 기대할 수 있다"고 말했다. (02)551-8940 고경봉 기자 kgb@hankyung.com