반도체 장비업체인 한국디엔에스(대표 임종현)가 3백㎜ 웨이퍼용 세정장비(모델명 SWP3004)를 국산화하는 데 성공했다. 이 회사가 개발한 세정장비는 반도체 제조공정에서 약품이나 가스로웨이퍼 표면의 불필요한 부분을 제거해 준다. 임종현 대표는 "웨이퍼를 1장씩 가공하는 싱글 웨이퍼 프로세서 방식으로 설계됐다"고 말했다. 웨이퍼 여러 장을 카세트에 담아 한꺼번에 처리하는 기존의 배치식보다 처리속도가 빠르고 손상 및 오염 확률이 매우 낮다는 게 회사측 설명이다. 또 이 장비는 4단챔버로 구성돼 웨이퍼 4개를 동시에 처리할 수 있다. 한국디엔에스는 세정장비같은 반도체 장비를 비롯해 TFT-LCD(초박막액정표시장치) 및 유기EL(발광소자) 장비 판매로 올해 9백20억원의 매출을 올릴 계획이다. (041)620-8100 고경봉 기자 kgb@hankyung.com