수출을 포함한 5월중 일본의 반도체제조장비 수주액이 작년 동기대비 48.9% 늘어난 1천121억엔으로 3개월 연속 플러스 성장을 기록했다고 일본반도체제조장비협회가 27일 발표했다. 전달 대비 증가폭은 28.5% 포인트. 반면 수입을 포함한 일본시장 수주액은 17% 줄어든 356억엔에 그쳐 일본 국내보다는 아시아지역을 중심으로 한 해외시장의 회복세가 강해지고 있는 것으로 분석됐다. 니혼고교(日本工業)신문에 따르면 반도체제조장비의 기종별 수주액은 60-70%를 차지하는 웨이퍼 프로세스용 처리장비가 작년 동기 대비 41.2% 증가한 837억엔이었고 검사용장비와 조립용장비 수주액도 배 이상으로 늘었다. 머스크. 레티클 제조용장비 등은 수주액이 큰 폭으로 줄었다. 일본시장에서의 기종별 수주액은 검사용장비와 반도체설계용장비 수주 전년동기대비 거의 배로 늘었지만 주력인 웨이퍼 프로세스용 처리장비 수주가 36.2%나 감소했다. (서울=연합뉴스) 국기헌기자 penpia21@yna.co.kr