이온빔을 이용한 첨단 과학장비를 산업현장에 공급하는 대덕밸리내 벤처기업 브이에스아이(대표 김도윤 www.vsi.co.kr). 이 회사가 독자적으로 개발한 "이온 빔 소스"는 이온빔을 발사하는 이온건(Gun) 시스템. 이 제품은 반도체 및 광학렌즈 공정에 필수적인 최첨단 장비다. 넓은 면적에 균일한 이온빔을 쏘일 수 있을뿐만 아니라 비교적 높은 에너지를 얻을 수 있는 획기적인 장비라는 평가를 받고 있다. 이러한 특성을 이용,반도체나 광학렌즈 표면에 이온을 충돌시켜 미세한 오염물질을 제거하는 표면 세정 효과를 얻을 수 있다. 또 이온을 가속시켜 기판 표면의 선택된 부분을 깎아내는 이온 밀링으로도 활용이 가능하다. 이밖에 반도체나 렌즈 표면에 기능성 막을 코팅할 경우 발생하는 굴절률 변화 등을 없애는 공정에도 이용된다. 이 회사는 이온을 이용한 첨단 과학장비 개발에 이어 전자를 이용해 반도체 표면의 원자배열 구조를 알아내는 표면분석장비도 개발,산업현장에 공급하고 있다. "알히드 시스템"으로 이름지어진 이 장비는 원자가 반도체 표면에 증착되고 있는 중간에도 원자가 몇층째 증착되고 있는지,어떠한 구조로 증착되고 있는지를 파악해 주는 유일한 모니터 장치. 이 장비는 반도체 표면 증착막의 두께를 원자층의 단위로 알 수 있기 때문에 초미세 원자구조 분석기 및 초미세 증착막 두께 측정장치의 기능을 동시에 수행할 수 있다. 이밖에도 이 회사는 진공관련 첨단 과학장비 및 반도체 장비,연구용 과학장비 등 다수의 최첨단 과학장비를 보유하고 있다. 김도윤 대표는 "그동안 국내 기초과학 및 첨단 일선산업 현장에서 반드시 필요한 과학장비를 수입에 의존해 높은 가격에 구입하고도 사후관리가 제대로 안돼 세워놓은 경우가 한 두 번이 아니었다"며 "첨단 과학장비 분야 연구개발을 세계 최고 수준으로 향상시켜 나가겠다"고 말했다. (042)861-9039 한경대덕밸리뉴스=홍정민 기자 vvalley00@korea.com