삼성전자는 업계에서 처음으로 지름 12인치(3백㎜)인 웨이퍼(반도체의 원재료인 원판 모양의 실리콘결정)로 2백56메가 SD램을 양산하기 시작했다고 25일 발표했다. 삼성전자는 이날 경기도 화성공장 12인치 웨이퍼 라인에서 황창규 사장과 임직원 2백여명이 참석한 가운데 2백56메가 SD램 수출 출하식을 가졌다. 이 제품에는 회로선폭 0.15㎛(미크론·1백만분의 1m)의 미세가공기술이 적용됐다. D램 업계에서는 8인치(2백㎜) 웨이퍼가 대부분이며 생산성이 2.5배 가량 높은 12인치는 삼성전자와 독일의 인피니언이 그동안 시제품 등으로 1백28메가 SD램을 양산하는 수준이었다. 삼성전자는 지난해 10월부터 12인치 라인에서 1백28메가 상용화 제품을 생산,대형 PC업체에 샘플을 공급해왔다. 이 회사관계자는 "12인치 웨이퍼로 생산한 2백56메가의 수율이 상당히 안정돼 D램 업계 최고의 경쟁력을 유지하게 됐다"고 말했다. 삼성전자는 올해 세계 메모리반도체 시장의 주력 제품이 1백28메가 SD램에서 2백56메가 SD램으로 급속하게 전환될 것으로 보고 12인치 양산라인에서 연간 1천5백만개의 1백28메가 및 2백56메가 SD램을 생산할 계획이다. 김성택 기자 idntt@hankyung.com