반도체장비 업체인 셀라이트(대표 홍성균)는 일본 텔사와 손잡고 금속이온 오염 측정장비 "TIMS-2000"(사진) 수출확대에 나선다.

회사측은 "현재 세계적인 반도체장비 업체인 일본 텔사와 이 장비에 대한 모듈화 개발이 진행중"이라며 "텔사가 생산중인 반도체세정장비 웨트스테이션(Wet-Station)의 기본 사양으로 판매할 계획"이라고 30일 설명했다.

"TIMS-2000"은 반도체 핵심제조공정 중 오염물질을 세정하는 공정에서 나타나는 금속이온의 오염정도를 실시간으로 자동 측정해주는 검사장비다.

오염물질이 발생하는 즉시 공정 진행을 중단시켜 생산손실을 막을 수 있게 해준다.

셀라이트는 이밖에 한번의 공정으로 반도체 웨이퍼 옆부분 불량여부를 판별할 수 있는 자동 검사장비 "EDGE-2000"의 본격적인 양산도 눈앞에 두고 있다.

이 회사의 올해 매출목표액은 1백26억원다.

지난해 매출실적의 10배 가까운 액수다.

홍성균 사장은 "지난달 산업은행으로부터 20억원의 자금을 유치한 것을 비롯해 국내외 관련 시장에서 기술력과 사업성을 인정받고 있다"며 "올해를 기점으로 미국 대만 유럽시장으로 진출해 한국산 반도체 검사장비의 우수성을 알리겠다"고 말했다.

경기도 수원에 본사를 둔 셀라이트는 지난 98년에 설립돼 이그조스트컨트롤러 등 반도체장비를 생산해왔다.

(031)217-0110 이정호 기자 dolph@hankyung.com