[대덕은 지금] 지니텍, 플라즈마 원자층 증착기술 세계 첫 개발

입력2001.01.31 수정2001.01.31

지니텍(대표 이경수.www.genitech.co.kr)은 플라즈마를 이용한 "플라즈마 원자층 증착기술"을 세계 최초로 개발했다고 30일 밝혔다.

플라즈마 원자층 증착기술은 플라즈마의 성질을 이용해 반도체 웨이퍼의 표면에 박막을 원자층 단위로 증착시키는 반도체장비 제조관련 신기술이다.

지니텍은 이 기술을 적용해 반도체 웨이퍼 이송장치 전문업체인 코닉시스템(대표 정기호)과 공동으로 양산용 플라즈마 원자층 증착장비를 제작 판매할 계획이다.

이경수 사장은 "이번 개발은 취약한 국내 반도체 공정장비분야의 기반을 닦는 획기적인 일"이라며 "삼성.현대.IBM.인텔 등 국내외 반도체 제조업체에 본격적으로 장비를 판매할 계획"이라고 밝혔다.

한경대덕밸리뉴스=조창현 기자 cch99@ddvnews.com

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