초정밀 반도체 생산에 필수적인 리소그래피용 온도 조절장치가 개발됐다.

반도체설비 생산업체인 팀코리아(대표 김거부)는 독일의 하체사가 전세계 시장을 독점하고 있는 리소그래피 공정용 온도조절장치(TCU)를 국산화하는데 성공했다고 17일 밝혔다.

리소그래피 공정은 웨이퍼를 D램 등 반도체 소자로 가공하기 전에 거치는 작업이다.

수백개 칩이 들어있는 한장의 웨이퍼 위에 생산하고자 하는 D램의 회로기판을 올려 함께 사진을 찍는 것.

이때 사용되는 외부 온도가 바뀌면 카메라 두께가 변해 반도체소자의 가공공정에 오류가 발생한다.

온도조절장치는 이런 오작용을 막기 위해 설치된다.

팀코리아가 이번에 개발한 온도조절장치는 오차범위가 1백분의 1(0.01도)로 독일의 하체사 제품과 같다.

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김태철 기자 synergy@hankyung.com