현대전자는 (주)동진쎄미켐과 공동으로 0.09미크론(1미크론은 100만분의 1m)의 초미세 회로선폭 공정을 가능하게 하는 아르곤 플로라이드 감광제 양산에 성공했다고 12일 발표했다.

아르곤 플로라이드 감광제는 반도체 원재료인 웨이퍼에 회로를 형성시키는데 사용되는 물질로 지금까지 0.13미크론 회로까지 형성 가능했다.

현대가 이번에 개발한 감광제는 차세대 반도체 기술의 표준화 활동을 하는 비영리 단체인 인터내셔널 쎄마테크로부터 0.09미크론의 회로선폭을 가능하게 하는 감광제로 평가받았다.

현대전자는 이번 감광제가 1리터 당 3백만원 정도의 고가품으로 2006년경에는 전세계 시장규모가 10억달러 이상으로 확대될 것으로 예상된다고 밝혔다.

현대전자는 지난해 스위스 클라리언트사에 플로라이드 감광제 기술을 수출한 바 있다.

감광제란 반도체 제조공정시 사진식각 공정에 사용되는 물질로써 설계된 회로를 빛의 반응에 의해 웨이퍼 위에 형성할 때 사용되는 고분자 재료다.

이익원 기자 iklee@hankyung.com