아펙스, 엑시머 진공자외선 세정장비 국산화
회사측은 일본 쿼크시스템 노아시스템 등과 기술제휴를 맺고 첨단 기술을 활용한 드라이클리닝 장비를 개발했다고 설명했다.
엑시머 VUV기술을 채택한 신제품은 고출력.단파장의 진공자외선을 조사(조사)해 반도체나 LCD 등 각종 소재 표면에 붙어있는 이물질과 유기물을 산화시켜 제거하는 첨단 광세정장비다.
회사측은 "반도체.LCD.PDP 제조공정에서 PR(포토레지스트)도포전이나 CVD(화학물증착)공정전의 유기물 제거는 물론 폐수처리 같은 환경산업에도 응용해 사용할 수 있다"고 설명했다.
김 사장은 "열이 나지 않는 단파장 자외선을 사용해 열에 의한 손상 위험을 없앴다"며 "오염물질도 배출하지 않아 환경친화적 장비"라고 말했다.
(0431)260-2000 이방실 기자 smile@ked.co.kr
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