반도체장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 국내 최초로 TFT-LCD(박막트랜지스터 액정디스플레이) 화학증착 공정장치를 개발했다고 3일 밝혔다.

주성의 TFT-LCD 화학증착 공정장치는 1백% 외산인 국내시장 상황에 큰 변화를 일으킬 것으로 예상된다.

1년여동안 연구끝에 성공한 이 장치는 현재 사용중인 유리기판 최대 크기인 7백30x9백20mm용 제품을 가공할 수 있다.

한 챔버에서 3가지 공정이 가능하고 3가지 막을 동시에 증착할 수 있는 특징을 갖고 있다.

이 장치는 복잡한 구조의 샤워헤드를 사용하지 않고 인젝터를 사용하여 오염요소를 최소화했으며 유지보수가 쉬운게 특징이다.

두께 0.7mm 유리기판을 별도의 예열공정없이 해당 챔버에서 데울 수 있다.

따라서 공정시간을 단축시켜 생산성도 높일 수 있다고 한다.

특히 플라즈마소스를 이용한 세정작업으로 화학세정 빈도를 줄여 유지보수에 필요한 시간을 절감시키는 장점도 갖고 있다.

이영곤 영업담당 이사는 "주성의 TFT-LCD 화학증착 공정장치가 국내 뿐 아니라 해외시장에서도 좋은 평가를 받을 것으로 기대하고 있다"며 "올 하반기부터 본격 판매에 들어갈 예정"이라고 말했다.

가격은 대당 70억~80억원에 이르며 올해 1대 내년에는 3대이상을 팔 계획이다.

TFT-LCD 화학증착 공정장치의 연간 세계시장규모는 3억달러 규모로 추산되고 있다.

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김낙훈 기자 nhk@ked.co.kr