반도체 제조공정중에 사용되는 불소화합물(PFCs) 가스를 처리할 수 있는
장치(Scrubber)가 벤처기업에 의해 국내에서 처음으로 개발됐다.

태양테크(대표 조현기)는 3년여의 연구노력 끝에 삼성전자와 공동으로
국책과제인 PFCs 가스 처리장치를 국산화했다고 6일 밝혔다.

이 제품은 이달중 양산돼 삼성전자에 공급하는 것을 시작으로 국내외
반도체 관련 업체에 판매될 전망이다.

PFCs는 지구온난화의 주범으로 꼽히는 물질이다.

이 장치를 개발함에 따라 연간 최대 1천5백억원 정도의 수입대체 효과가
기대되고 있다.

이 스크러버는 직접 산화방식을 채용, PFCs 가스를 분해해 대기중에 무해한
상태로 방출할 수 있게 만들어졌다.

자가 발생 열원장치를 내장,별도의 열원이 필요 없는 것이 특징이다.

이 제품은 국내특허를 등록했고 미국 일본 대만 특허를 출원중이다.

생산기술연구원 청정생산기술사업의 일환으로 개발 추진된 것으로 산업안전
관리공단의 안전(S)마크도 획득했다.

오는 15~17일 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 반도체 관련 국제 전시회
(세미콘코리아)에서 첫선을 보인다.

태양테크는 약 18억원을 들여 불소화합물 처리장치 및 반도체 관련 7종의
신기술 제품을 개발해 왔으며 다른 신제품들도 개발 완료단계에 있다.

이 가운데 전자동 웨트스테이션(반도체 세정장비)을 독자기술로 제작,
이달 중순 반도체 관련 기업에 납품할 예정이다.

회사측은 웨트스테이션 및 불소화합물 처리장치를 양산하기 위해 15억원을
들여 경기 화성 공장 옆에 2공장을 3월중 완공, 대만 등지로 수출에도 나설
계획이다.

이 회사는 기술력과 성장성을 인정받아 최근 국민기술금융 삼성벤처투자
등 벤처캐피털로부터 투자지원을 받았다.

3년여에 걸친 신제품 개발계획이 거의 마무리됨에 따라 올해 회사 매출은
1백50억원으로 지난해보다 갑절로 늘어날 전망이다.

조현기 사장은 "태양테크가 개발한 신제품들은 특히 반도체 공장 신.증설시
외국산을 대체하면서 널리 설치될 전망"이라며 "내년께 코스닥에 등록할
계획"이라고 말했다.

(0339)376-7611

< 문병환 기자 moon@ked.co.kr >

( 한 국 경 제 신 문 2000년 2월 7일자 ).