반도체 검사장비 전문업체인 극동뉴메릭이 12인치 웨이퍼 식각 장비를
국산화한다고 13일 발표했다.

12인치 웨이퍼는 2백56메가D램 이상 D램 반도체 생산에 필요한 차세대
웨이퍼로 내년부터 D램 공장에 본격 채용될 예정이다.

식각(Etcher)장비는 웨이퍼에서 칩을 깍아내는 D램 공정의 핵심 장비로
현재 전량 수입에 의존하고 있다.

극동뉴메릭은 이 장비의 국산화를 위해 지난해말 일본의 반도체 장비업체
STC와 STC의 12인치 웨이퍼 식각장비를 삼성전자 등에 공급하는 조건으로
식각공정 관련 기술을 이전받기로 계약했다.

또 STC와 공동으로 자본금 20억원의 합작생산법인 ATL을 이달말 설립키로
했다.

회사측은 "오는 7월까지 시제품 개발을 완료하고 시험가동을 거친후 내년
부터 본격 생산할 계획"이라고 밝혔다.

장비 개발에는 2년간 2백억원을 투입할 계획이라고 덧붙였다.

12인치 웨이퍼 식각장비가 국산화되면 이 장비의 대당 가격이 25억원이고
라인당 1백여대가 들어가는 점을 감안할때 줄잡아 1조원대의 수입대체 효과를
거둘 것으로 추정된다.

삼성은 삼성벤처캐피털을 통해 ATL에 출자, 장비 국산화를 간접 지원할
것으로 알려졌다.

< 박주병 기자 jbpark@ked.co.kr >


( 한 국 경 제 신 문 2000년 1월 14일자 ).